Pengukuran eksentrisitas suseptor
Manufaktur semikonduktor
Eksenstrinsitas abnormal menyebabkan muncul bentuk-bentuk tidak teratur
- Keuntungan
-
Sampling berkecepatan tinggi dan pengukuran dengan akurasi tinggi dapat memperbaiki waktu siklus
-
Sensor Pengukuran Laser Berkecepatan Sangat Tinggi/Akurasi Tinggi
