Informasi posisi tepi dapat diperoleh dengan mengatur area pengukuran sehingga mencakup profil kapasitor. Berdasarkan informasi yang diperoleh, lebar maksimum/minimum, posisi maksimum/minimum, sudut dua garis aproksimat, dan jarak dapat dihitung dengan mudah.
Pengukuran dimensi sebagian dilakukan menggunakan alat inspeksi tepi dasar. Seri XG dapat melakukan pengukuran dimensi yang lebih spesifik menggunakan perhitungan untuk secara akurat memanipulasi informasi dimensi gambar yang diproses.
Sistem Visual Intuitif